Leistungen

Das CiS Forschungsinstitut bietet eine professionelle Zusammenarbeit und Partnerschaft bei Forschung, Entwicklung und Serienfertigung in den Bereichen

  • Mikromechanischer und Mikrooptischer Sensorsysteme (Micro-Electro-Mechanical Systems MEMS und Micro-Opto-Mechanical Systems MOEMS)
  • Silizium-Detektoren


Das bedeutet u.a.

  • Kunden- bzw. anwendungsspezifische Systemlösungen für Mikrosensorik und Mikrosystemtechnik zur Detektion physikalischer, chemischer, physiologischer und anderer Größen
  • F/E-Leistungen zu Si-Technologie, Aufbau und Verbindungstechnik, Test und Analytik
  • Applikations- und Forschungsverbünde ausgerichtet auf Bedarfe von KMU
  • Optimierung von Device-Eigenschaften durch Defektengineering


orientiert auf Wachstumsfelder wie

  • Energie/Klima
  • Gesundheit/Ernährung
  • Mobilität
  • Sicherheit
  • Kommunikation
  • Materialeffizienz

Ausgewählte Beispiele:


Leistung

Anwendungsfeld

Chip-in-Chip Montage

Optische Sender-Empfängerbaugruppen

Entwurf von Mikrosensoren und Modellbildung für Mikrosysteme

Industriemesstechnik

Entwicklung von Drucksensorchips
Silizium Cantilever, Mikrotaster
Strahlungsdetektoren

Prozessautomation
Nano-/Mikro-Kraftsensorik
Hochenergiephysik, LHC CERN Genf

Applikative Untersuchungen zu impedimetrischen Sensoren auf der Basis von kapazitiven Streufeldstrukturen

Feuchtesensorik

Entwicklung eines Im-Ohr-Sensors für Vitalparametermonitoring

Medizintechnik

REM, FIB, SIMS

Halbleiter-Prozesskontrolle

3D-Tiefenstrukturierung von Silizium

Hybride Mikrosysteme