Leistungen

Das CiS Forschungsinstitut bietet eine vertrauensvolle und professionelle Zusammenarbeit und Partnerschaft bei Forschung, Entwicklung und Serienfertigung in den Bereichen

  • Mikromechanischer und Mikrooptischer Sensorsysteme (Micro-Electro-Mechanical Systems MEMS und Micro-Opto-Mechanical Systems MOEMS)
  • Solartechnik


Das bedeutet u.a.

  • Kunden- bzw. anwendungsspezifische Systemlösungen für Mikrosensorik und Mikrosystemtechnik zur Detektion physikalischer, chemischer, physiologischer u.a. Größen
  • Technische bzw. wirtschaftliche Optimierung von Herstellungsprozessen für Solarzellen
  • F/E-Leistungen zu Si-Technologie, Aufbau und Verbindungstechnik, Test und Analytik
  • Applikations- und Forschungsverbünde ausgerichtet auf Bedarfe von KMU


orientiert auf Wachstumsfelder wie

  • Energie/Klima
  • Gesundheit/Ernährung
  • Mobilität
  • Sicherheit
  • Kommunikation
  • Materialeffizienz

Ausgewählte Beispiele:


Leistung

Anwendungsfeld

Serienfertigung von Drucksensorchips
Silizium Cantilever, Mikrotaster
Strahlungsdetektoren

Prozessautomation
Nano-/Mikro-Kraftsensorik
Hochenergiephysik, LHC CERN Genf

Im-Ohr-Sensor für Vitalparametermonitoring

Medizin

REM, FIB, SIMS

Halbleiter-/Solarprozesskontrolle

Modulprüfungen

Zertifizierung von Solarmodulen

Auftragsforschung zur Steigerung des Wirkungsgrades von kristallinen Silizium-Solarzellen

Photovoltaik-Zellen

Applikative Untersuchungen zu impedimetrischen Sensoren auf der Basis von kapazitiven Streufeldstrukturen

Feuchtesensorik

Entwurf von Mikrosensoren und Modellbildung für Mikrosysteme

Industriemesstechnik

3D-Tiefenstrukturierung von Silizium

Hybride Mikrosysteme

Chip-in-Chip Montage

Optische Sender-Empfängerbaugruppen