Mikrosystemtechnik
Im Bereich der Mikrosystemtechnik wird an der Entwicklung und Herstellung von Komponenten, Modulen und Sensorsystemen gearbeitet, deren Kernstück jeweils ein mit den entsprechenden Technologien prozessierter Siliziumchip ist.
Je nachdem, welche physikalischen Wirkmechanismen im Vordergrund stehen, können dabei mikroelektronische Schaltungen mit mikromechanischen (MEMS) oder mikrooptischen (MOEMS) Elementen zu kundenspezifischen Lösungen kombiniert oder integriert werden.
Die entsprechenden Aktivitäten am CiS Forschungsinstitut sind wie folgt auf die beiden Geschäftsfelder MEMS und MOEMS verteilt.
Geschäftsfeld MEMS
- Piezoresistive Sensoren: Hochstabile Drucksensoren; Analyse, Simulation und Design
- Drucksensoren; Medienresistente Drucksensoren; Neuartige Konzepte
- Impedimetrische Sensoren: Mikrokondensation; Taupunkt
- Mikrofluidik; Biosensorik; Mikroarrays
- Mikromechanische Komponenten und Module: Silizium Cantilever; Mikrotaster
- Nano-/Mikro-Kraftsensorik; Haptische Sensoren; IR-Sensorik; Leistungslose Mikrosensorik
Geschäftsfeld MOEMS
- Mikrooptische Sensoren: für das Monitoring von Vitalparametern des Menschen.
- Mikromedizin, Herz-Kreislauf-Diagnostik, Pulsoximetrie, Diabetes-Sensorik
- Miniaturisierte reflektometrische Strahler-Empfänger-Sensoren und Systeme
- Opto-impedimetrische Multisensorsysteme zur sicheren Personenidentifikation
- Partikelsensoren zur Detektion von Verschmutzungen in Fluiden
- Fluoreszenz-Sensoren: Lab-on-Chip-Anwendungen, Optische Biosensoren
- Colorimetrische Mikrosensoren
- Interferenz-Sensorik
- Miniaturspektrometer
- Optische Korrelationssensoren für dynamische Prozesse
- Mikro-Nano-Integrationstechnologien, einschl. mikrooptischer Komponenten
- Strahlungsdetektoren: für Hochenergiephysik, medizinische und industrielle Anwendungen
