Highlight des CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2024: Galvanisch getrennter Inkrementalsensor
/in Druck, IR, UV, VeranstaltungenWährend der nächste Woche startenden Hannover Messe stellt das CiS Forschungsinstitut auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand in Halle 3, Stand D76 einen galvanisch getrennten Inkrementalsensor vor. Im Rahmen des Förderprojektes GalGiS wurden neue Siliziumtechnologien entwickelt, um eine solche galvanische Trennung bereits auf Chipebene zu erreichen
Packaging Technologie für thermische Fluss-Sensoren
/in AVT, Medizintechnik, MEMS, WasserstoffDas neu gestartete Projekt Pack-Flu befasst sich mit dem Entwurf, der Realisierung und Charakterisierung einer robusten und innovativen Packaging-Plattform für kostengünstige mikrokalorimetrische Durchflusssensoren auf MEMS-Basis für den Einsatz in Gasleitungen oder Lüftungssystemen. Die Plattform dient als skalierbare Grundlage für Fluss-Sensoren zur Analyse und Steuerung von Luftströmung, Wasserstoff und anderen nicht-aggressiven Gasen mit bekannter Strömungsrichtung (z.B. in Pipelines) mit hoher Genauigkeit
MEMS-Pirani-Sensor für das Fein- und Hochvakuum
/in Druck, MEMSMit dem Vorhaben MinerVa startet das CiS Forschungsinstitut die Entwicklung eines MEMS-Pirani-Sensors für Druckmessung im Fein-Hochvakuumbereich. Die Anwendungsmöglichkeiten sind vielseitig, beispielsweise bei der Herstellung dünner funktionaler Schichten mittels physikalischer Dampfphasenabscheidung (PVD)
Frohe Ostertage – Kreativer Wettbewerb für die Kinder unserer Mitarbeitenden
/in CiS allgemeinAuch in diesem Jahr lud die Geschäftsführung des CiS Forschungsinstituts zu einer kreativen Mitmach-Aktion während des Osterzeit. Die Kinder aller Mitarbeitenden waren bis heute aufgerufen, selbstgemalte Bilder des Osterhasen oder österliches Selbstgebasteltes einzureichen. Für jedes teilnehmende Kind gab es eine süße Überraschung als Belohnung. In unserer Online-Galerie können die zahlreichen, kreativen Einreichungen der jungen Künstlerinnen und Künstler bestaunt werden
High-End-Beschleunigungssensoren
/in MEMSDas Projekt beschäftigte sich mit der Entwicklung von kapazitiven Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ auf der Basis von Chip-Level-Prozessen. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator, sowie ein hermetisches Package
Photoakustischer Gassensoren mit Referenzgassensor
/in MEMSIm Mittelpunkt des abgeschlossenen Forschungsprojekts PAS stand die Entwicklung einer piezoresistiven Mikrofonkomponente auf Basis von mikromechanischen Systemen (MEMS) für hoch integrierte photoakustische Gassensoren. Der Sensor ist für einen Einsatzbereich von -40⁰C bis 140⁰C geeignet. Anwendungen liegen Bereich des Klima- und Umweltschutzes zur Verbesserung des Energiemanagements, der Prüfung der Luftqualität oder in der Medizintechnik als hochsensitive Atemgas-Sensoren.
Defektmechanismen in Silizium – Vorträge auf der DPG-Frühjahrstagung in Berlin
/in Siliziumdetektoren, VeranstaltungenVom 17.-22.03.2024 organisiert die Sektion Kondensierte Materie (SMK) der Deutsche Physikalische Gesellschaft e. V. (DPG) mit ihren Fachverbänden und Arbeitskreisen die DPG-Frühjahrstagung auf dem Campus der Technischen Universität Berlin. In vier Beiträgen stellen Dr. Kevin Lauer sowie junge Nachwuchsforschende ihre neuesten wissenschaftlichen Ergebnisse zu verschiedenen Defektmechanismen in Silizium bei unterschiedlichen Dotierungen vor und laden zur Diskussion ein
Bewertung von Quantenmaterialien in industriellen Drucksensoren
/in AVT, Druck, VeranstaltungenAm CiS Forschungsinstitut wurden in Kooperation mit Partnern aus der Industrie und Wissenschaft Drucksensoren auf der Basis von NV-Zentren in Diamant mit industriellen Fertigungsmethoden hergestellt. Die Ergebnisse aus dem Forschungsprojekt Qind werden im Rahmen des 28. Hasselt Diamond Workshop SBDD präsentiert
Neuartiger Isothermalsensor durch Vorderseitenkavitäten
/in IR, Medizintechnik, MOEMSIm abgeschlossenen Forschungsprojekt NIVo konnte ein neuer Thermopile-Sensor entwickelt werden, der nach dem Prinzip der isothermen Detektion von Infrarotstrahlung arbeitet und von der Vorderseite freigestellt ist. Diese Kombination ermöglicht die Herstellung einer neuen Art von hochleistungsfähigen Sensoren im Bereich der Thermographie
Mitgliedertreffen OptoNet Live – Das CiS Forschungsinstitut stellt sich vor
/in MOEMS, VeranstaltungenAls langjähriges Mitglied des OptoNet e.V nutzen wir am Montag, 19. Februar 2024 die Gelegenheit, uns den Mitgliedern des Photoniknetzwerks Thüringen im Rahmen des virtuellen Mitgliedertreffens vorzustellen. Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS, präsentiert das Institut als Partner für die produktionsorientierte Forschung und Entwicklung von neuen Sensorlösungen und Mikrosystemen auf der Basis von Siliziumtechnologien