MEMS-Design für hochstabile und hochgenaue Drucksensoren CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik kooperiert mit der TU Hamburg-Harburg

17.06.2016

Forscher und Entwickler beider Einrichtungen bearbeiten gemeinsam ein Projekt, um mit einer multiphysikalischen Simulation eine größere Sicherheit bei der Entwicklung und Fertigung von anwendungsspezifischen piezoresistiven Drucksensoren zu erreichen.

Immer wieder treten Abweichungen zwischen simulierten und tatsächlich gemessenen Kennlinien auf. Verursacht werden diese möglicherweise durch verschiedene physikalische  Einflussfaktoren, die in bisherigen Simulationsprogrammen nur ungenügend abgebildet werden.

Ein an der TU Hamburg-Harburg entwickelter hochstabiler adaptiver FEM-Solver erlaubt neue mit vertretbaren Aufwand gekoppelten Simulationen zwischen Mechanik, Temperatur und Halbleiterelektronik und lässt eine verbesserte Übereinstimmung von Simulation und tatsächlichen Messergebnissen erwarten.