Miniaturisierte Hochtemperatur-Drucksensorchips auf der S+T 2018

21.06.2018

Auf der Sensor+Test 2018 in Nürnberg zeigt das CiS Forschungsinstitut ein serienfertigungstaugliches Hochtemperaturdrucksensorsystem mit einer Einsatztemperatur von bis zu 300°C.

Über technische Eigenschaften wie Zuverlässigkeit, extreme Langzeitstabilität und höchste Präzision verfügt auch die kundenspezifische Entwicklung des hochtemperaturstabilen Mikrosystems mit piezoresistiven Sensorelementen zur Erweiterung des Einsatztemperaturbereiches innerhalb vorhandener Systeme. Innerhalb des F&E-Projekts wurde die gesamte Kette von der Idee bis zum fertigen Mikrosystem abgebildet. Der Entwicklungsprozess umfasste die gekoppelte Device-Simulation und das Layout ebenso wie die Prozessentwicklung, Wafer-Fertigung, Wafer-Messtechnik und den finalen Bauteiltest. Der miniaturisierte Hochtemperatur-Drucksensorchip für spezielle Einsatzbedingungen in Prozessautomation und Automotive sowie zur Überwachung und Steuerung industrieller Prozesse geeignet.

Diese Entwicklung und weitere Highlights der Geschäftsbereiche MEMS, MOEMS und Siliziumdetektoren (SIDE) können interessierte Besucher in Halle 1 am Stand 1-150 auf der "Sensor+Test" in Nürnberg erleben.