IDE-Sensor mit Diamant-Passivierung auf dem Thüringer Werkstofftag 2019

27.02.2019

Impedanzsensoren werden zur Analyse von z.B. Luftfeuchte, Flüssigkeitsfüllständen oder chemisch/biologischen Untersuchungen eingesetzt und sind aus Interdigital-Elektroden (IDE) aufgebaut. Mögliche Einsatzgebiete werden durch aggressive Medien eingeschränkt, weshalb Passivierschichten zum Schutz der Metallisierung eingesetzt werden. Hierfür bieten sich synthetische Diamantschichten an, insbesondere wegen herausragender Eigenschaften hinsichtlich chemischer Beständigkeit, Biokompatibilität und Strahlenhärte.

Erste Forschungsergebnisse zur Langzeitstabilität von IDE-Sensoren mit Diamant-Passivierung in verschiedenen aggressiven Medien präsentiert das CiS Forschungsinstitut am Freitag, dem 7. März 2019 im Rahmen des Thüringer Werkstofftags 2019 an der Technischen Universität Ilmenau.