CiS-Info Mai 2015

Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH lädt Sie herzlich zur Präsentation ihrer aktuellen Forschungs-und Entwicklungsergebnisse im Bereich MEMS, MOEMS und Siliziumdetektoren auf die SENSOR+TEST 2015 vom 19.-21. Mai in Nürnberg ein.

Sie finden uns in der Halle 12, Stand 132 mit den Themen:




Mikro-Laserbeleuchtung für die Analytik

Massentaugliche Technologien zur Herstellung von kostengünstigen Mikro-Laserbeleuchtungen entwickelt ein vom CiS angeführtes Forschungskonsortium. Die Baugruppe ist mit einer Länge von 1,4 mm kleiner als einen Stecknadelkopf.

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Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor

Der Sensor arbeitet ohne bewegliche Komponenten, zeichnet sich durch einen geringen Wartungsaufwand aus und ist für Anwendungen in rauen Umgebungen geeignet.

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Hochtemperaturdrucksensor mit einer Einsatztemperatur von bis zu 300°C

Die neuen Drucksensorchips beruhen im Grundaufbau alle auf dem „Silicon on Insulator“ (SOI)-Prinzip. Kennzeichen sind eine ausgezeichnete Performance ohne stark temperaturabhängige Leckströme und Montagespannungen.

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Mikro-Laser-Doppler Sensoren für Blutflussmessungen

Das miniaturisierte Bauteil basiert auf der MORES®-Technologie, bei der durch 3D-Strukturierung von Silizium die Lichtquelle direkt in den Sensorchip integriert wird. Gegenüber marktüblichen Lösungen arbeitet der kompakte Sensor vollständig ohne Lichtleitfasern

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Optische Mikrosensoren für die Messung von Pulskontur und Herzratenvariabilität

Ein mobiles Biofeedback-System, welches im äußeren Gehörgang gemessene Vitalparameter des Patienten aufnimmt, diese mit Hilfe einer Smartphone-App analysiert und individuell bewertet, hat das CiS Forschungsinstitut gemeinsam mit Medizinern und Industriepartnern entwickelt.

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Halbleiterkomplexmessplatz

Ein neuer Halbleiterkomplexmessplatz steht am CiS Forschungsinstitut zur Charakterisierung von Technologien und Sensoren bereit. Umfangreiche Messelektronik, ein SIREX-Messplatz (Scanning Infrared Reflection Examination) und ein Konfokalmikroskop erlauben orts- und zeitechte Informationen über elektrische Halbleiterphänomene in Verbindung mit mechanischer Charakterisierung.

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Piezoresistive Mikrotaster zur Inline-Oberflächeninspektion in industriellen Fertigungsprozessen

Hohe Abtastraten und geringe Antastkraft verbindet ein neuer miniaturisierter Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke. Die kraftabhängige Auslenkung bewirkt eine Änderung der mechanischen Spannung, welche piezoresistiv ausgewertet wird.

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Pixeldetektoren für die Teilchen- und Astrophysik - Entwicklung und Fertigung besonders strahlenharter Teilchendetektoren

Die moderne Teilchen- und Astrophysik fasziniert mit spektakulären Entdeckungen, wie z.B. dem Higgs-Boson sowie ersten Hinweisen auf Gravitationswellen. Das CiS hat seit 1996 verschiedene Technologien und Detektoren zur Spurverfolgung der Teilchen in Großexperimenten besonders ATLAS, CMS und ALICE am CERN, CMB am GSI / FAIR und DESY entwickelt.

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Miniaturisierte Dehnungselemente aus Silizium

Für Präzisionskraftmessungen in medizintechnischen Applikationen eignen sich Silizium-Dehnmesssensoren mit integrierter Messbrücke. Gegenüber herkömmlichen duktilen Metall-DMS erzielen sie z.B. höhere Langzeitstabilität und Messsicherheit.

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Wir freuen uns auf Ihren Besuch auf unserem Messestand (Halle 12, Stand 132). Bei Rückfragen oder Terminvereinbarungen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung.