Ausgewählte Projekte

Projekttitel Akronym Ende
Dicke Doppel-Metallisierung  DiDoMet  30.04.2020 
Multiphysikalischer Sensor für harsche Umweltbedingungen  Bat  30.04.2020 
Untersuchung von langzeitstabilen Fügeverbindungen zum Aufbau von Drucksensoren zur Prozessüberwachung in Elektrolyseuren und Systemspeichern  HyProS-D  30.04.2020 
Doppelseitige, großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren  DLAT  31.03.2020 
Temperaturabhängige Ladungsträgereigenschaften  TeLa  31.03.2020 
3D-Detektor-Entwicklung  TRIDENT  31.03.2020 
Fiber-Chip-Package  FCP  29.02.2020 
Multilayer Aufbauten für chemisch resistente, langzeitstabile Sensorik  MARLen  31.01.2020 
Ausbau des Mikromontagecenters zur Entwicklung von anwendungsspezifischen UV-LED-Modulen  UV-MMC  31.12.2019 
Smart Sensor Technologies and Training for Radiation Enhanced Applications and Measurements  STREAM  31.12.2019 
Smartes, hochminiaturisiertes Fluorimeter  SmartFLU  31.12.2019 
Aktorisches Miniaturspektrometer für die Gassensorik  AMiGa  31.12.2019 
Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren  GeWaDiS  31.10.2019 
Hochtemperatursensorik  HotSens  31.10.2019 
Tastsystem mit stark reduzierter Antastkraft zur Bestimmung der instrumentierten Eindringhärte  TARZAN  31.10.2019 
Evaluierung druckbarer Materialsysteme für IR-Emitter  DruMa4IR  30.09.2019 
Elektromigration in Sensor-Kontaktsystemen  EMIC  30.09.2019 
Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip  MIREC  30.09.2019 
Entwicklung eines UV-LED-Absorptionssensors zur Bestimmung von Nukleinsäuregehalt und Reinheit  ENiN  31.08.2019 
Sensor for Heat Radiation  SHeRa  31.08.2019 
Entwicklung eines Wafer-Level-Packages für UV-LEDs auf Basis multifunktionalen Silizium- und Keramiksubmounts  WLP-Mount  31.07.2019 
Innovative Chip-to-Chip Interconnections für high-end Systemanforderungen  I2CON  31.07.2019 
Drucksensorchip, unempfindlich gegen zeitliche Veränderung mechanischer Eigenschaften der Aufbau- und Montagetechnik  DumBo  30.06.2019 
Miniaturisierter Drucksensor für einen Druckbereich kleiner 10 mbar  mini10  30.06.2019 
Entwicklung eines Bondverfahrens für innovative Reaktivsysteme mit dem Schwerpunkt einer laserbasierten Zündtechnologie, industrieller Zuverlässigkeit und Prozesssicherheit  RNFSys  31.05.2019 
Hochintegrierte optische Einweg-Messzellen mit spektrophotometrischer Messtechnik für das Online-Messen biologischer Parameter  BioFlowCell  31.05.2019 
Entwicklung eines produktionsoptimierten integrierten Hochleistungs-UV-Strahlers  Monta-PHOS  30.04.2019 
Resonanter Drucksensor: Sensor, der eine Struktur besitzt, die ihre Resonanzfrequenz messbar verändert bei Variation des äußeren Druckes  Resonanter Drucksensor  30.04.2019 
Micro-Structure Transformation of Silicon  MSTS  30.04.2019 
EUV-Bestrahlungsstärke über diamantbeschichtete Temperatursensoren  DiaTemp  28.02.2019 
Intelligente Entwicklungsumgebung für flexibles und schnelles Mikrosensorik-Prototyping (II)  IESP  31.01.2019 
AC-Brücke  AC-Brücke  30.11.2018 
Glowing Body Silicon Emitter  GloBSiE  30.11.2018 
Integrierte piezoresistive Siliziumkraftsensoren  INKA  30.11.2018 
Planarisiertes Wafer Level Packaging für hermetisch dichte Mikrosensoren  PlanWLP  30.09.2018 
Rückwirkungsfreier Direktaufbau von MEMS-Sensoren  RUDIS  31.08.2018 
Technological Sensor Optimisation of Radiation Detectors  TENSOR  30.06.2018 
Hochauflösendes modulares Spektro-Polarimeter durch Einsatz moderner Halbleiterprozesse  SpektroPol  28.02.2018 
Smart System Integration/Smart Access to Manufacturing for Systems Integration  Smarter-SI  31.01.2018 
Entwicklung von Multi-Lambda-UV-Strahlern mit angepassten Optikelementen und optimierter Aufbau- und Verbindungstechnik  Multi-Lambda-UV  31.01.2018 
Intelligente Entwicklungsumgebung für flexibles und schnelles Mikrosensorik-Prototyping  Intelligente Entwicklungsumgebung  31.01.2018 
Ein-Komponenten Sensor-Aktor-Transducer mit hybrid-integrierter Fehlerkompensation  BioSAM  31.12.2017 
Aufbau- und Verbindungstechnik von miniaturisierten, siliziumbasierten Dehnungsmesssensoren  SiStGAP  31.12.2017 
Entwicklung von preiswerten Silizium-Trägern auf Basis der Siebdrucktechnologie für lokale Dotierungen und Metallisierungen  SiSi  30.11.2017 
Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Thermopile-Infrarotsensors für Gasdetektion  TPS  31.10.2017 
Energieeffizienzmaßnahmen  Energieeffizienz  31.10.2017 
FEM4MEMS - multi-physics Finite Elemente Simulator für MEMS-Design  FEM4MEMS  30.09.2017 
Entwicklung von Defektengineeringprozessen in p-Typ Silizium zur Herstellung von hochohmigen n-in-p Siliziumdetektoren   DeSiD  31.08.2017 
Großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren  LAT  31.07.2017 
Produktionsgerechte Einführung eines Bondverfahrens mittels integrierter reaktiver Metallschichten   iRMS  31.07.2017 
System-in-Package für einen miniaturiesierten Gassensor bis 200 °C / Hermetisches Package von IR-Modulen   SiPamiG-200  31.07.2017 
Modellbasierte Prozesssteuerung von Biogasanlagen Teilprojekt 2: Sensorik  MOST  30.06.2017 
Medienresistenter Differenzdrucksensor   MeReDiD  31.05.2017 
Modulare Mikrotaster-Systeme   MMS  31.05.2017 
dünne Silizium Membrane für hochstabile und hochgenaue Silizium-Drucksensoren  dSiM  31.05.2017 
Multifotodiode mit mehreren dreidimensional abgegrenzten aktiven Bereichen für hohe Auflösungen und Temperaturen   MuFoDi  31.05.2017 
UV-Vis-Hybridsensor aus Diamant und Silizium   UVPD  31.05.2017 
Single Photon Detector  Single Photon Detector  31.05.2017 
Optisch auslesbarer Druck- und Temperatursensor   ODTS  30.04.2017 
Miniaturisiertes Fluorimeter  MiniFLU  30.04.2017 
Black Silicon  Black Silicon  30.04.2017 
Entwicklung eines Sensorsystems zur Steuerung und Erhöhung des Feuchteschutzes von innengedämmten Außenwandkonstruktionen mit einer thermovariablen Innenschicht  SensorTex  28.02.2017 
Innovationsforum SmartDiamonds - Ein regionales Netzwerk zur Förderung innovativer funktionaler Diamantschichten in der Mikrosensorik  Smart Diamonds  28.02.2017 
Careers in high-radiation Environment Technologies: Planar pixel sensor development for high-resolution imaging and particle physics  Talent  31.12.2016 
Richtungssensitiver Quadrantendetektor  RiSeQ  31.12.2016 
Polarisation-kompensierte 3D-Spektralsensoren  3D-SpekSens  31.12.2016 
PIEZO - Berechnung und Verifikation von Piezokoeffizienten im Drucksensor-Design-Flow  PIEZO  31.12.2016 
Trennmembran  NanoKAP  31.12.2016 
Neue lötbare Metallisierungsverfahren im Submikrometerbereich für Pixeldetektoren  µPixSol  31.12.2016 
Innovative Startmetallisierungen für belotbare Mikrokontakte   ISaBel  31.12.2016 
Mikrokanalkühlung  Mikrokanalkühlung  31.12.2016 
Überlastfeste Differenzdrucksensoren  ÜLaDru  31.12.2016 
3D-Mikrokraftsensor für die Qualitätssicherung und taktile Oberflächen - 3D-Kraftsensor  3D-Kraftsensor  31.12.2016 
Strahlungsfester relativer Feuchtesensor  SRF  31.12.2016 
Mikro-Laser-Doppler Sensor  MiLD  31.12.2016 
Beleuchtungseinheit mit integrierter Stabilisierung   Belis  31.12.2016 
Active Edges für Silizium-Sensoren   Active Edges  31.12.2016 
Defektengineering im Silizium zur Optimierung von Sensoreigenschaften  SiPlus  31.12.2016 
Laserdirektbelichter  Laserdirektbelichter  31.12.2016 
Kapillare zum kontinuierlichen Glukosemonitoring  µKAP  30.09.2016 
Entwicklung einer Kalibrierkammer und/oder Sterilisationskammer für Stoffsensoren  Kalika  31.08.2016 
Corioliskraft basierter Mems Massenflusssensor für die Dosierung in der Bio- und Medizintechnik  Coriolis MFS  31.07.2015 
3D-Ätzverfahren für MEMS-Sensoren  3D-ETCH  30.06.2015 
Hochgenaue Temperaturdioden zur besseren Kompensation der Temperaturquerempfindlichkeit  Tkomp  30.06.2015 
Kompakter Brechungsindex - und Schichtdicken-Sensor  KomBreSSe  30.06.2015 
Zeitaufgelöste Lumineszenzanalyse von Halbleitern, Time-resolved Luminescence Analysis of Semiconductors  TreLAS  30.06.2015 
Mikro-Hochleistungsbeleuchtungssystem für Massenanwendungen  µHBS  30.06.2015 
Miniaturisierte Dehnungselemente aus Silizium für die Präzisionskraftmessung  Si-DMS  30.04.2015 
Entwicklung eines Wüstenklimatests inkl. Sandabrasion für kristalline PV-Module  DUNE  28.02.2015 
Entwicklung eines Ohr-Biofeedback-Systems für das Monitoring und die Behandlung vegetativer Dysfunktionen; Entwicklung eines miniaturisierten und mobilen Im-Ohr Sensorik-Moduls  BioFeedback  31.01.2015 
Entwicklung einer Hochtemperatur-Kontaktierungstechnologie für siliziumbasierte Elektronikanwendungen  HoTSiL  31.12.2014 
Entwicklung eines Mikropixelsiliziumphotomultipliers  MPSPM  31.12.2014 
Entwicklung eines mikrooptischen Sensors zur Pulsformanalyse als Grundlage einer photoplethysmographischen Pulswellenmessung  PuWeS  31.12.2014 
Forschergruppen Solar; PIDSINX:H  Forschergruppen Solar  31.12.2014 
Halbleiterkomplexmessplatz  HKM  30.11.2014 
Mikrosensorik auf Basis von Nano- und Mikrokondensation  MiNaKo  31.10.2014 
Nanoskalige III-V/Silizium Heterostrukturen für hocheffiziente Solarzellen  Nano-III-V-pins  31.09.2014 
Wafer Level Packaged Pressure Sensor With Through Silicon Vias  WPT  30.09.2014 
Bedarfsgerechte Sauerstoffgabe in der klinischen Ventilation (OXYgen on demandduringclinicalVENtilation)  OxiVent  31.08.2014 
Entwicklung der Solarzellen der nächsten Generation durch Realisierung des selektiven Emitters mittels neuartiger Siebdrucktechnologien Teilprojekt: Neuartige Siebdrucktechnologien zur Herstellung selektiver Emitter Solarzellen.  SelemSi  31.08.2014 
Kraft- und Wegnormal für die Nanoscala - Mikrokraftsensor  Mikrokraftsensor  31.07.2014 
Langzeitstabile Vorderseiten-Metallisierung auf Basis umweltfreundlicher Galvanischer Schichten (LasVeGaS) - Teilvorhaben: Erforschung einer langzeitzuverlässigen und bleifreien Kontaktierungstechnik für galvanisch abgeschiedene Solarzelle  LasVeGas  14.07.2014 
Impedimetrische 3D Sensoren auf Basis von SOI Wafern  3DSOI  30.06.2014 
Blasenloser Neigungssensor mit hoher Genauigkeit  BLNS  30.06.2014 
Ultraschallbasierte, intraorale diagnostische Plattform für den Einsatz im Dentalbereich; Teilprojekt 8: Aufbau- und Verbindungstechnik  dc.sen  30.06.2014 
Drahtloser Sensor für harsche Umweltbedingungen  DRAU  30.06.2014 
Hochtemperatur-Druckwandler  HotDru  30.06.2014 
Multivalentes Sensorarray mit implantierten Interdigitalelektroden  MUSIGA  30.06.2014 
Laserbasierte Planarisierung von Kontaktflächen an Solarzellen  LaPlaKon  30.06.2014 
Entwicklung industrietauglicher Vorkonditionierungen für die Passivierung hocheffizienter Si-Solarzellen  InduPass  30.06.2014 
Laserpuls-Strahlformung zur selektiven Ablation funktionaler Schichten  LafosA  30.06.2014 
Entwicklung eines miniaturisierten optischen Rauheitssensors zur Klassifizierung bearbeiteter Oberflächen  Rz-Sens  31.05.2014 
Entwicklung universell-funktioneller Submount - Blocks auf Basis der „Lift-off“- Technologie mit Erstanwendung für MORES® Sensoren  LIOF  30.04.2014 
Entwicklung feingranularer, abbildungsartefaktarmer Pixel-Strahlungsdetektoren für medizinische Anwendungen auf Basis eines Mikro-Nano-Strukturierungsmoduls für lithographische Prozesse  RadioMed  30.04.2014 
Green Energy mit Silizium Thermogeneratoren  SiTEG  30.04.2014 
Integritäts-kontrolliertes kompensiertes SoG Silizium  IKOSI  30.04.2014 
Präzise Widerstände im Silizium für Mikrosystemtechnik  PReSi  31.03.2014 
Entwicklung eines multispektralen sensorischen Mikrosystems zur Bestimmung wellenlängenabhängiger lateraler Intensitätsverteilungen für die reflektive Pulsoximitrie  MS-LateIn  28.02.2014 
Sensitiver Mikroschalter  SEMIS  31.01.2014 
Kapazitiver Mikroschalter zum Wecken autonomer Sensorsysteme  KMS  31.01.2014 
Optimierung des Float-Zone-Verfahren zur Herstellung von monokristallinen Siliziumkristallen für Solarzellen" - Teilprojekt CiS: "Elektrische und mechanische Charakterisierung von Wafern und Solarzellen"  FzSil 2  31.12.2013 
Entwicklung einer Niedertemperatur-Kontaktierungstechnologie für Silizium-Solarzellen - low temperature interconnection for PV upscaling  Lotus  31.12.2013 
Materialien für ultradünne Silizium - Solarzellen  xµ-Material II  31.12.2013 
Module mit ultradünnen Silizium- Solarzellen  xµ-Module II  31.12.2013 
Hocheffiziente Solarzellen auf ultradünnen Silizium-Wafern  xµ-Zellen II  31.12.2013 
Mechanische und optische Charakterisierung von Wafern und Sägematerialen  ThinWafer  31.12.2013 
Entwicklung eines PV-Moduls mit Konformität zu EU-Normen mit Gültigkeitsbereich Mikroelektronik  EU-KM  30.09.2013 
European Micro Nano Broker Platform  EU MN BROKER  30.06.2013 
Betriebsphase Applikationszentrum Mikrooptische Systeme  AMOS II  31.12.2012 
Zweidimensionales Geschwindigkeitsmesssystem mit variabler Auslesung von Gitterperioden  2DIMVELO   31.12.2012 
Entwicklung eines universellen Kantendetektors  EdgeD   31.12.2012 
Power Sensor Line  PSL   31.12.2012 
Spitzencluster Solarvalley: Verbundvorhaben PV-Laser - Neue Laserprozesse für die Wafer- und Zellbearbeitung (PV-Laser) - Teilvorhaben "Optimierung und Untersuchung laserbasierter Strukturierungsprozesse für Maskenschichten in der Siliziumphotovoltaik der  PV-Laser  31.12.2012 
Optoelektronischer Nivellierungssensor mit kombinierter visueller und opto-elektronischer Libelle  Elise 3  31.12.2012 
Optischer Lagesensor mit hoher Stabiliät gegenüber Temperatur- und Feuchteeinflüssen  LageIndikator  30.11.2012 
Optimierung des Czochralski-Verfahrens zur Herstellung von monokristallinem Silizium in Hinblick auf geringere Kosten und dünnere Wafer - Teilprojekt: Elektrische und mechanische Charakterisierung von Wafern und Solarzellen  Cz-Sil  30.06.2012 
Absolutcodiertes Längenmessgerät für Bauwerksüberwachung  ALBau / ABCSmod  30.06.2012 
Entwicklung eines kombinierten kardio-Temperatursensors für Langzeitüberwachung bei Risikogruppen  KomKaT-Sens  30.06.2012