Leistungen

Das CiS Forschungsinstitut bietet eine professionelle Zusammenarbeit und Partnerschaft bei Forschung, Entwicklung und Serienfertigung in den Bereichen

  • Mikromechanischer und Mikrooptischer Sensorsysteme (Micro-Electro-Mechanical Systems MEMS und Micro-Opto-Mechanical Systems MOEMS)
  • Silizium-Detektoren


Das bedeutet u.a.

  • Kunden- bzw. anwendungsspezifische Systemlösungen für Mikrosensorik und Mikrosystemtechnik zur Detektion physikalischer, chemischer, physiologischer und anderer Größen
  • F/E-Leistungen zu Si-Technologie, Aufbau und Verbindungstechnik, Test und Analytik
  • Applikations- und Forschungsverbünde ausgerichtet auf Bedarfe von KMU
  • Optimierung von Device-Eigenschaften durch Defektengineering


orientiert auf Wachstumsfelder wie

  • Energie/Klima
  • Gesundheit/Ernährung
  • Mobilität
  • Sicherheit
  • Kommunikation
  • Materialeffizienz

 

 

Ausgewählte Beispiele:


LeistungAnwendungsfeld
Chip-in-Chip MontageOptische Sender-Empfängerbaugruppen
Entwurf von Mikrosensoren und Modellbildung für MikrosystemeIndustriemesstechnik
Entwicklung von Drucksensorchips
Silizium Cantilever, Mikrotaster
Strahlungsdetektoren
Prozessautomation
Nano-/Mikro-Kraftsensorik
Hochenergiephysik, LHC CERN Genf
Applikative Untersuchungen zu impedimetrischen Sensoren auf der Basis von kapazitiven StreufeldstrukturenFeuchtesensorik
Entwicklung eines Im-Ohr-Sensors für VitalparametermonitoringMedizintechnik
REM, FIB, SIMSHalbleiter-Prozesskontrolle
3D-Tiefenstrukturierung von SiliziumHybride Mikrosysteme