Mikrosystemtechnik

Im Bereich der Mikrosystemtechnik wird an der Entwicklung und Herstellung von Komponenten, Modulen und Sensorsystemen gearbeitet, deren Kernstück jeweils ein mit den entsprechenden Technologien prozessierter Siliziumchip ist.
Je nachdem, welche physikalischen Wirkmechanismen im Vordergrund stehen, können dabei mikroelektronische Schaltungen mit mikromechanischen (MEMS) oder mikrooptischen (MOEMS) Elementen zu kundenspezifischen Lösungen kombiniert oder integriert werden.

Die entsprechenden Aktivitäten am CiS Forschungsinstitut sind wie folgt auf die Geschäftsfelder MEMS, AMOS und Silizium-Detektoren verteilt.


Geschäftsfeld MEMS

  • Piezoresistive Sensoren: Hochstabile Drucksensoren; Simulation, Design, Prozessierung, Vereinzelung, Aufbau, Analyse
  • Drucksensoren, medienresistente Drucksensoren, Drucksensoren für hohe Anwendungstemperaturen (≤300°C)
  • Impedimetrische Sensoren: Mikrokondensation, Taupunkt
  • Mikrofluidik, Biosensorik, Mikroarrays
  • Mikromechanische Komponenten und Module: Silizium Cantilever, Mikrotaster, Silizium-Dehnmessstreifen
  • Nano-/Mikro-Kraftsensorik, haptische Sensoren, IR-Sensorik, leistungslose Mikrosensorik
  • E-Mail an das Geschäftsfeld MEMS schreiben

 

 

Geschäftsfeld AMOS

  • Minaturisierte reflektometrische Strahler-Empfänger-Systeme, z.B. für
    • Partikelsensorik
    • Fluoreszenzsensorik
    • Absorptionssensorik
    • Interferenzsensorik
  • Mikrooptische Sensorsysteme, z.B. für
    • das Monitoring von Vitalparametern
    • die Nivellierung von technischen Systemen
    • berührungslose Messung von Oberflächenrauhigkeiten
    • die Bestimmung des Einfallswinkels von Licht auf Oberflächen
  • Miniaturisierte Beleuchtungseinheiten von UV bis Near IR
  • Montagetechnologien von mikrooptischen Systemen
  • E-Mail an das Geschäftsfeld AMOS schreiben

 

 

Geschäftsfeld Silizium-Detektoren