Impedimetrische Sensorik

Die Technologie der impedimetrischen Sensorik (Bild 1) beruht auf  TiN-Interdigitalkondensatoren (gelb) auf einem Silizium-Substrat (grau) mit Feldoxid-Passivierung (grün). Eine PECVD-Nitridschicht (weiss) passiviert die Elektroden und stellt das Erkennungssystem für die eigentliche Messaufgabe dar. Die Gesamtimpedanz der Streufeldkapazität zeigt einen ausgeprägten Frequenzgang, der in seinem Verlauf sehr stark von den Eigenschaften des Umgebungsmediums abhängt (Bild 2).

Beispielsweise ist ein signifikanter Unterschied zwischen trockener und feuchter Sensoroberfläche messbar. Dies ermöglicht den Einsatz des Messprinzips als Feuchtesensor (siehe Kondensationssensoren).

In Kombination mit einem Regelkreis kann das Prinzip dazu verwendet werden, um eine Taupunktmessung durchzuführen (siehe Taupunktmessgeräte).