Mikrotastspitzen/Kraftsensoren

Wir bieten Mikrotastspitzen in verschiedenen Größen zur Kraftmessung oder Rauhigkeitsmessung.

Die Tastspitze (von ca. 30 µm bis ca. 250 µm verfügbar) ist an der Spitze eines bis zu 5 mm langem Cantilever geformt und bietet die Möglichkeit der Messung an unzugänglichen Stellen wie z.B. Bohrlöchern.

Das Nutzungspotenzial kundenspezifischer, piezoresistiver Mikrotasterchips reicht von Topologiemessungen an Einspritzdüsen bis zur Analyse von Lavaldüsen in Satellitenantriebssystemen.

In der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH wurden die Grundlagenuntersuchungen aus dem universitären Forschungsumfeld erfolgreich in die Pilotproduktion implementiert. Qualitätsmerkmale, wie beispielsweise die Ausbeute und die Langzeitstabilität des Offsets der piezoresistiven Brücken, konnten signifikant erhöht werden. Basis der neuen Produkte bildet dabei die im CiS Forschungsinstitut etablierte und im hochvolumigen Prototyping erprobte 4"-Wafer Technologie zur Herstellung piezoresistiver Drucksensorchips.