Simulation und Design

Für die Entwicklung von Entwurfsregeln und das Layout für die Maskenherstellung für den technologischen Prozess stehen entsprechende Entwurfsarbeitsplätze bereit. Es stehen geeignete Software-Tools zur Simulation der sensorischen Eigenschaften des Gesamtsystems wie auch der technologischen Teilschritte zur Verfügung. Gekoppelte mechanische, elektrische und thermische Vorgänge im Zusammenhang mit Sensorsystemen werden mittels FEM-Simulation entworfen.


Die Arbeitsgebiete umfassen:

  • Konstruktion neuer/optimierter kundenspezifischer optischer/strahlungssensitiver, piezoresistiver und impedimetrischer kundenspezifischer Sensoren
  • Erstellung des Sensorlayouts einschließlich der Datensatzendbearbeitung, Erstellung von Designregeln und Teststrukturen
  • Simulation halbleiterphysikalischer elektrischer, optischer, mechanischer und thermischer Sensoreigenschaften
  • Erstellung von Multidomain Sensor-Modellen mit elektrischer, optischer, mechanischer und thermischer Verkopplung 
  • Messung spezieller Sensorkennlinien für die Modellparametrisierung



Ausstattung:

  • Layout – CAD-Software
  • FEM-Simulatoren für elektrischen und optischen halbleiterphysikalische Berechnungen
    (SILVACO: ATLAS, TESCA)
  • FEM-Simulatoren für die Berechnung von Verfahrensschritten der Halbleitertechnologie
    (SILVACO: ATHENA, FLOODS)
  • FEM-Simulator für die Berechnung mechanischer und thermischer Eigenschaften von Festkörpern
    (ANSYS, COMSOL )  
  • Parametermessplatz für die Aufnahme von Sensorkennlinien
  • SPICE-Simulatoren (HSPICE, CADENCE PSPICE)

 

 

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